三丰表面轮廓仪是利用光学显微技术、白光干涉扫描技术、计算机软件控制技术和PZT垂直扫描技术对工件进行非接触测量，还原出工件3D表面形貌宏微观信息，并通过软件提供的多种工具对表面形貌进行各种功能参数数据处理，实现对各种工件表面形貌的微纳米测量和分析的光学计量仪器。

 

　　今天咱们就来聊一聊三丰表面轮廓仪的操作方法：

 

　　1、将样品放置在载物台镜头下方。检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态，

 

　　2、使用操纵杆调节Z轴，找到样品表面干涉条纹。微调XY轴，找到待测区域，并重新找到干涉条纹。

 

　　3、完成扫描设置和命名等操作。点击开始测量（进入3D视图窗口旋转调整观察一会），进行校平。

 

　　4、进入数据处理界面，点击“校平”图标，和平面样品不同，台阶样品需手动选取基准区域，选好基准区域后，先“全部排除”再“包括”。

 

　　5、若样品表面有好几处区域均为平面且高度一致，可多选择几个区域作为基准面进行校平。

 

　　6、台阶高度测量：线台阶高度测量。

 

　　7、进入分析工具界面，点击“台阶高度”图标，即可直接获取自动检测状态下的面台阶高度相关数据。

 

　　8、在右侧点击“手动检测”，根据需求选择合适的形状作为平面1和平面2的测量区域，数据栏可直接读取两个区域的面台阶高度数值。

 

　　9、台阶高度测量：线台阶高度测量。

 

　　10、进入数据处理界面，点击“提取剖面”图标，使用合适方向的剖面线，提取目标位置的剖面轮廓曲线。

 

　　11、进入分析工具界面，点击“台阶高度”图标，由于所测为中间凹槽到两侧平面高度，因此点击右侧工具栏，测量条对数选择“2”，将红色基准线对放置到凹槽平面中间，两对测量线对分别放置在两侧平面，即可在数据缆读取台阶高度数据。